三甲基铝（TMA）
危险产品
Contact for Price
价格面议
概述
用于半导体制造中的高介电常数薄膜的三甲基铝（TMA）。
CAS号
75-24-1
分子式
Al2(CH3)6
产品等级
Electronic Grade
危险等级
CLASS 3
Flammable Liquids
外观
liquid
包装形式
Canister Drum
产品描述
三甲基铝（TMA）是一种在原子层沉积（ALD）工艺中使用的关键前驱体。它在电子和半导体行业中被广泛用于形成高介电常数的介质膜。TMA具有优异的热稳定性和反应性，使其适用于精确且均匀的薄膜沉积。
相关产品
更多产品来自 ALD Precursors 在 电子和半导体化学品