Trimetilaluminio (TMA)
Producto Peligroso
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Resumen
Trimethylaluminum (TMA) for high-k dielectric films in semiconductor manufacturing.
Número CAS
75-24-1
Fórmula Molecular
Al2(CH3)6
Grado del Producto
Electronic Grade
Clase de Peligro
CLASS 3
Flammable Liquids
Apariencia
liquid
Formas de entrega
Canister Drum
Descripción del Producto
El trietilaluminio (TMA) es un precursor clave utilizado en procesos de deposición por capas atómicas (ALD). Se utiliza ampliamente en la industria electrónica y de semiconductores para la formación de películas dieléctricas de alto-k. El TMA ofrece excelente estabilidad térmica y reactividad, lo que lo hace adecuado para la deposición de películas precisas y uniformes.
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