Triméthylaluminium (TMA)
Produit Dangereux
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Prix sur Demande
Aperçu
Trimethylaluminum (TMA) for high-k dielectric films in semiconductor manufacturing.
Numéro CAS
75-24-1
Formule Moléculaire
Al2(CH3)6
Grade du Produit
Electronic Grade
Classe de Danger
CLASS 3
Flammable Liquids
Apparence
liquid
Formes de livraison
Canister Drum
Description du Produit
Le triméthylaluminium (TMA) est un précurseur clé utilisé dans les procédés de déposition par couches atomiques (ALD). Il est largement utilisé dans l'industrie électronique et des semi-conducteurs pour la formation de films diélectriques à haute permittivité. Le TMA offre une excellente stabilité thermique et une réactivité élevée, ce qui le rend adapté à la déposition précise et uniforme des films.
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