Триметилалюминий (TMA)
Опасный продукт
Contact for Price
Конкурентные цены • Быстрая доставка
Обзор
Триметилалюминий (TMA) для высокодиэлектрических пленок в полупроводниковой промышленности.
Номер CAS
75-24-1
Молекулярная формула
Al2(CH3)6
Класс продукта
Electronic Grade
Класс опасности
CLASS 3
Flammable Liquids
Внешний вид
liquid
Формы упаковки
Canister Drum
Описание продукта
Триметилалюминий (TMA) является ключевым промежуточным веществом, используемым в процессах химического осаждения из газовой фазы (ALD). Он широко используется в электронной и полупроводниковой промышленности для формирования высокодиэлектрических пленок. TMA обладает отличной термической стабильностью и реактивностью, что делает его подходящим для точного и равномерного нанесения пленок.
Сопутствующие продукты
Больше продуктов из ALD Precursors в Electronic & Semiconductor Chemicals