Wolframhexafluorid (WF₆)
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Übersicht
Tungsten Hexafluoride (WF₆) for semiconductor processing.
Produktbeschreibung
Wolframhexafluorid (WF₆) ist ein farbloses, nicht entzündbares Gas, das in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es dient als Ätzmittel und chemischer Dampfabscheidungs-(CVD-)Präkursor zur Abscheidung von Wolfram-Schichten auf Siliziumwafern. Wichtige Anwendungen umfassen die Bildung von Verbindungen in integrierten Schaltkreisen. Bekannt für seine hohe Reinheit und Effektivität bei dünnfilmabscheideprozessen.