Silan (SiH₄)

Silan (SiH₄) ist ein farbloses, brennbares Gas, das hauptsächlich in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es dient als Schlüsselkomponente in chemischen Dampfabscheidungsverfahren (CVD), wobei es als Ätzmittel und Haftvermittler fungiert. Die Fähigkeit von Silan, Siliziumdioxid und andere siliziumhaltige Verbindungen zu bilden, macht es unverzichtbar für die Erzeugung von dünnen Schichten und Beschichtungen in der Halbleiterherstellung.