Titan(IV)-chlorid (TiCl₄)
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Übersicht
Titanium Tetrachloride (TiCl₄) for high-purity CVD applications in electronics.
Produktbeschreibung
Titanium(IV)-chlorid (TiCl₄) ist eine farblose bis leicht gelbliche Flüssigkeit, die als Vorläufer in chemischen Dampfabscheidungsverfahren (CVD) verwendet wird. Es wird in der Elektronik- und Halbleiterindustrie weit verbreitet eingesetzt, um BarriereSchichten und andere dünnfilmige Schichten zu bilden. Dieses Verbindung ist bekannt für ihre hohe Reinheit und Effektivität bei der Erzeugung gleichmäßiger, hochwertiger Beschichtungen.