四氯化钛 (TiCl₄)
危险产品
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概述
四氯化钛(TiCl₄)用于电子高纯度CVD应用。
CAS号
7719/12/2
分子式
TiCl₄
产品等级
Electronic Grade
危险等级
CLASS 8
Corrosive Substances
外观
liquid
包装形式
Drum Canister
产品描述
四氯化钛(TiCl₄)是一种无色至淡黄色的液体,用作化学气相沉积(CVD)工艺中的前驱体。它在电子和半导体行业中被广泛用于形成阻挡层和其他薄膜。该化合物以其高纯度和在形成均匀、高质量涂层方面的有效性而著称。