Hexafluorure de tungstène (WF₆)
Produit Dangereux
Contact for Price
Prix sur Demande
Aperçu
Tungsten Hexafluoride (WF₆) for semiconductor processing.
Numéro CAS
7783-82-6
Formule Moléculaire
WF₆
Grade du Produit
Electronic Grade
Classe de Danger
CLASS 2
Gases
Apparence
gas
Formes de livraison
Canister
Description du Produit
Fluorure de tungstène (WF₆) est un gaz incolore, non inflammable utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il sert d'agent de gravure et de précurseur pour la déposition en phase vapeur chimique (CVD) afin de déposer des couches de tungstène sur des plaquettes de silicium. Les applications principales comprennent la formation des interconnexions dans les circuits intégrés. Il est notable pour sa haute pureté et son efficacité dans les processus de dépôt de films minces.
Produits Connexes
Plus de produits de CVD Gases dans Produits Chimiques pour l'Électronique et les Semi-conducteurs