Hexafluoruro de tungsteno (WF₆)
Producto Peligroso
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Resumen
Tungsten Hexafluoride (WF₆) for semiconductor processing.
Número CAS
7783-82-6
Fórmula Molecular
WF₆
Grado del Producto
Electronic Grade
Clase de Peligro
CLASS 2
Gases
Apariencia
gas
Formas de entrega
Canister
Descripción del Producto
Fluoruro de tungsteno (WF₆) es un gas incoloro e no inflamable utilizado en la industria de semiconductores. Actúa como agente de ataque y precursor para deposición por vapor químico (CVD) para depositar capas de tungsteno en wafer de silicio. Las aplicaciones clave incluyen la formación de interconexiones en circuitos integrados. Destacado por su alta pureza y eficacia en procesos de deposición de películas delgadas.
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