Тетрафторид вольфрама (WF₆)

Тетрафторид вольфрама (WF₆) - CAS 7783-82-6 - Chemical Product
Опасный продукт
Contact for Price

Конкурентные цены • Быстрая доставка

Обзор

Тетрафторид вольфрама (WF₆) для полупроводниковой обработки.

Номер CAS

7783-82-6

Молекулярная формула

WF₆

Класс продукта

Electronic Grade

Класс опасности

CLASS 2

Gases

Внешний вид

gas

Формы упаковки

Canister

Описание продукта

Тетрафторид вольфрама (WF₆) — бесцветный газ, не поддерживающий горение, используемый в полупроводниковой промышленности. Он служит как травильным агентом, так и предшественником химического осаждения из газовой фазы (CVD) для нанесения слоев вольфрама на кремниевые пластины. Основные применения включают формирование межсоединений в интегральных схемах. Отличается высокой чистотой и эффективностью в процессах нанесения тонких пленок.