Тетрафторид вольфрама (WF₆)
Опасный продукт
Contact for Price
Конкурентные цены • Быстрая доставка
Обзор
Тетрафторид вольфрама (WF₆) для полупроводниковой обработки.
Номер CAS
7783-82-6
Молекулярная формула
WF₆
Класс продукта
Electronic Grade
Класс опасности
CLASS 2
Gases
Внешний вид
gas
Формы упаковки
Canister
Описание продукта
Тетрафторид вольфрама (WF₆) — бесцветный газ, не поддерживающий горение, используемый в полупроводниковой промышленности. Он служит как травильным агентом, так и предшественником химического осаждения из газовой фазы (CVD) для нанесения слоев вольфрама на кремниевые пластины. Основные применения включают формирование межсоединений в интегральных схемах. Отличается высокой чистотой и эффективностью в процессах нанесения тонких пленок.
Сопутствующие продукты
Больше продуктов из CVD Gases в Electronic & Semiconductor Chemicals