六氟化钨 (WF₆) (WF₆) • CAS 7783-82-6 • 国际供应商
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六氟化钨 (WF₆)

六氟化钨 (WF₆) - CAS 7783-82-6 - Chemical Product
分类: 电子和半导体化学品 CVD Gases
危险产品
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价格面议

概述

六氟化钨（WF₆）用于半导体加工。

CAS号

7783-82-6

分子式

WF₆

产品等级

Electronic Grade

危险等级

CLASS 2

Gases

外观

gas

包装形式

Canister

产品描述

六氟化钨（WF₆）是一种无色、不可燃的气体，用于半导体工业。它作为蚀刻剂和化学气相沉积（CVD）前驱体，用于在硅片上沉积钨层。主要应用包括集成电路中的互连结构形成。以其高纯度和在薄膜沉积过程中的高效性而著称。

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