六氟乙烷（C₂F₆）

六氟化乙烷（C₂F₆）是一种电子级气体，主要用作半导体工业中的蚀刻剂。在集成电路的制造过程中，它对于在硅晶圆上形成精细图案至关重要。该产品因其在等离子体蚀刻过程中的稳定性和有效性而受到重视，有助于生产高性能电子产品。其主要特性包括不可燃性以及与其他氟碳化合物相比具有较低的全球变暖潜能。