Гексафторэтан (C₂F₆)

Гексафторэтан (C₂F₆) - CAS 76-16-4 - Chemical Product
Опасный продукт
Contact for Price

Конкурентные цены • Быстрая доставка

Обзор

Гексафторэтан (C₂F₆) для высокоточного травления кремния в полупроводниковой промышленности.

Номер CAS

76-16-4

Молекулярная формула

C₂F₆

Класс продукта

Electronic Grade

Класс опасности

CLASS 2

Gases

Внешний вид

gas

Формы упаковки

Canister Bulk

Описание продукта

Гексафторэтан (C₂F₆) — это газ электронного класса, используемый в основном в качестве травителя в полупроводниковой промышленности. Он необходим для создания мелких структур на кремниевых пластинах при изготовлении интегральных схем. Этот продукт ценится за свою стабильность и эффективность в процессах плазменной обработки, способствуя производству высокопроизводительных электронных устройств. Основные свойства включают в себя негорючесть и низкий потенциал глобального потепления по сравнению с другими фторуглеродами.