Гексафторэтан (C₂F₆)
Категория: Химикаты для электроники и полупроводников
Contact for Price
Конкурентные цены • Быстрая доставка
Обзор
Гексафторэтан (C₂F₆) для высокоточного травления кремния в полупроводниковой промышленности.
Номер CAS
76-16-4
Молекулярная формула
C₂F₆
Класс продукта
Electronic Grade
Класс опасности
Class 2
Внешний вид
gas
Упаковка и доставка
Canister, Bulk
Описание продукта
Гексафторэтан (C₂F₆) — это газ электронного класса, используемый в основном в качестве травителя в полупроводниковой промышленности. Он необходим для создания мелких структур на кремниевых пластинах при изготовлении интегральных схем. Этот продукт ценится за свою стабильность и эффективность в процессах плазменной обработки, способствуя производству высокопроизводительных электронных устройств. Основные свойства включают в себя негорючесть и низкий потенциал глобального потепления по сравнению с другими фторуглеродами.