Hexafluorethan (C₂F₆)
Gefährliches Produkt
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Übersicht
Hexafluoroethane (C₂F₆) for high-precision silicon etching in semiconductor manufacturing.
CAS-Nummer
76-16-4
Molekularformel
C₂F₆
Produktgrad
Electronic Grade
Gefahrenklasse
CLASS 2
Gases
Erscheinungsbild
gas
Lieferformen
Canister Bulk
Produktbeschreibung
Hexafluorethan (C₂F₆) ist ein elektronikreiner Gas, der hauptsächlich als Ätzmittel im Halbleiterbereich verwendet wird. Es ist unverzichtbar für die Erstellung feiner Muster auf Siliziumwafern während der Herstellung von integrierten Schaltkreisen. Dieses Produkt wird aufgrund seiner Stabilität und Effektivität in Plasmaschneidprozessen geschätzt und trägt zur Produktion hochleistungsfähiger elektronischer Geräte bei. Zu seinen wesentlichen Eigenschaften gehören die Nichtentzündbarkeit und eine geringe globale Erwärmungspotenzial im Vergleich zu anderen Fluorkohlenwasserstoffen.
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