CMP抛光液(用于铜、STI、钨)
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概述
CMP浆料(用于铜、STI、钨)用于半导体平坦化。
CAS号
N/A
分子式
N/A
产品等级
SEMI
外观
paste-gel
包装形式
Drum IBC
产品描述
CMP抛光液(用于铜、STI、钨)是专为半导体制造中的化学机械平坦化工艺设计的特种化学溶液。这些抛光液对于在晶圆上获得光滑、平整的表面至关重要,这对于高性能集成电路来说是必不可少的。它们广泛应用于电子和半导体行业,具有优异的抛光效率和选择性。