底部抗反射涂层（BARC）
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概述
用于提升光刻性能的底部抗反射涂层（BARC）。
CAS号
N/A
分子式
N/A
产品等级
SEMI
外观
liquid
包装形式
Drum Canister Pail
产品描述
底部抗反射涂层（BARC）是一种在半导体行业中用于提高光刻工艺精度和分辨率的专用涂层。它能有效减少来自基板的光反射，从而实现更好的图案定义和关键尺寸控制。主要应用包括先进的半导体制造，在此过程中，BARC在实现更细线条宽度和更高良率方面起着关键作用。显著特性包括对各种基板的良好附着力以及与光刻胶材料的兼容性。
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