Нижнее антиотражающее покрытие (BARC)

Нижний антиотражающий покрытие (BARC) - это специальное покрытие, используемое в полупроводниковой промышленности для повышения точности и разрешающей способности процессов фотолитографии. Оно эффективно уменьшает отражение света от подложки, что приводит к лучшему определению рисунка и контролю критических размеров. Основные применения включают производство передовых полупроводников, где BARC играет важную роль в достижении более тонких линий и более высоких выходов. Отличительные свойства включают отличную адгезию к различным подложкам и совместимость с материалами фотоэмульсии.