Recubrimiento antirreflectante inferior (BARC)

Recubrimiento Antirreflejante Inferior (BARC) es un recubrimiento especializado utilizado en la industria de semiconductores para mejorar la precisión y resolución de los procesos de fotolitografía. Reduce eficazmente la reflexión de la luz desde el sustrato, lo que conduce a una definición de patrón mejorada y al control de las dimensiones críticas. Las aplicaciones clave incluyen la fabricación avanzada de semiconductores, donde el BARC desempeña un papel crucial en la obtención de anchos de línea más finos y mayores rendimientos. Las propiedades notables incluyen una excelente adhesión a diversos sustratos y compatibilidad con materiales de fotorresistente.