Trockenes Ätzgas (CF₄, C₄F₈, SF₆, NF₃)
Gefährliches Produkt
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Übersicht
Dry Etch Gases (CF₄, C₄F₈, SF₆, NF₃) for precise semiconductor etching.
CAS-Nummer
75-71-8, 115-20-8, 2551-62-4, 7783-54-2
Molekularformel
CF₄, C₄F₈, SF₆, NF₃
Produktgrad
Electronic Grade
Gefahrenklasse
CLASS 2
Gases
Erscheinungsbild
gas
Lieferformen
Canister
Produktbeschreibung
Trockene Ätzgase, einschließlich CF₄, C₄F₈, SF₆ und NF₃, sind hochreine Gase, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden. Diese Gase spielen eine entscheidende Rolle bei Plasmäätzprozessen und ermöglichen die Erstellung feiner Muster auf Siliziumwafern. Sie sind unverzichtbar für die Erzielung präziser Ätzungen mit minimalem Substratschaden und somit unverzichtbar bei der Herstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte.
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