Stickstofftrifluorid (NF₃)
Gefährliches Produkt
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Übersicht
Stickstofftrifluorid (NF₃) für die Halbleiterätzung und Reaktorkreischemie.
CAS-Nummer
7783-54-2
Molekularformel
NF3
Produktgrad
Electronic Grade
Gefahrenklasse
CLASS 2
Gases
Erscheinungsbild
gas
Lieferformen
Canister
Produktbeschreibung
Stickstofftrifluorid (NF₃) ist ein farbloses, geruchloses und nicht entzündbares Gas. Es wird hauptsächlich in der Elektronik- und Halbleiterindustrie als Ätzmittel und für Reinigungsprozesse in Reaktionskammern eingesetzt. NF₃ wird aufgrund seiner hohen Reaktivität mit Silikongruppen geschätzt, was es effektiv macht, Ablagerungen aus Prozesskammern zu entfernen, ohne empfindliche Geräte zu beschädigen.
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