Stickstofftrifluorid (NF₃)
Preis auf Anfrage
Preis auf Anfrage
Übersicht
Nitrogen Trifluoride (NF₃) for semiconductor etching and chamber cleaning.
Produktbeschreibung
Stickstofftrifluorid (NF₃) ist ein farbloses, geruchloses und nicht entzündbares Gas. Es wird hauptsächlich in der Elektronik- und Halbleiterindustrie als Ätzmittel und für Reinigungsprozesse in Reaktionskammern eingesetzt. NF₃ wird aufgrund seiner hohen Reaktivität mit Silikongruppen geschätzt, was es effektiv macht, Ablagerungen aus Prozesskammern zu entfernen, ohne empfindliche Geräte zu beschädigen.