三氟化氮 (NF₃)
危险产品
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概述
三氟化氮（NF₃）用于半导体蚀刻和腔体清洁。
CAS号
7783-54-2
分子式
NF3
产品等级
Electronic Grade
危险等级
CLASS 2
Gases
外观
gas
包装形式
Canister
产品描述
三氟化氮（NF₃）是一种无色、无味且不可燃的气体。它主要用在电子和半导体工业中作为蚀刻剂以及用于腔体清洁工艺。NF₃因其对硅化合物具有高反应性而受到重视，这使其能够在不损坏精密设备的情况下有效去除工艺腔体中的沉积物。
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