Fluorure de trifluoronitrogène (NF₃) (NF3) • CAS 7783-54-2 •...

Fluorure de trifluoronitrogène (NF₃)

Fluorure de trifluoronitrogène (NF₃) - CAS 7783-54-2 - Chemical Product
Produit Dangereux
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Aperçu

Fluorure de trioxygène (NF₃) utilisé pour l'usinage des semi-conducteurs et le nettoyage des chambres.

Numéro CAS

7783-54-2

Formule Moléculaire

NF3

Grade du Produit

Electronic Grade

Classe de Danger

CLASS 2

Gases

Apparence

gas

Formes de livraison

Canister

Description du Produit

Le trifluorure d'azote (NF₃) est un gaz incolore, inodore et non inflammable. Il est principalement utilisé dans les industries électronique et des semi-conducteurs comme agent de gravure et pour les processus de nettoyage des chambres. Le NF₃ est apprécié pour sa forte réactivité avec les composés du silicium, ce qui le rend efficace pour éliminer les dépôts des chambres de traitement sans endommager les équipements sensibles.