光酸产生剂 (PAG)

光酸发生器（PAG）是半导体行业中光刻胶配方中的关键组分。在光刻工艺中，它在光照下产生酸，从而催化在硅片上形成图案所需的化学反应。主要应用包括集成电路和微电子器件的制造，这些应用需要高分辨率和对图案化过程的精确控制。