Perfluorocyclobutane (c-C₄F₈) (C4F8) • CAS 115-25-3 •...

Perfluorocyclobutane (c-C₄F₈)

Perfluorocyclobutane (c-C₄F₈) - CAS 115-25-3 - Chemical Product
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Aperçu

Perfluorocyclobutane (c-C₄F₈) for selective etching in semiconductor processes.

Numéro CAS

115-25-3

Formule Moléculaire

C4F8

Grade du Produit

Electronic Grade

Classe de Danger

CLASS 2

Gases

Apparence

gas

Formes de livraison

Canister

Description du Produit

Le perfluorocyclobutane (c-C₄F₈) est un gaz de grade électronique utilisé principalement comme agent d'attaque dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est connu pour sa haute sélectivité et son efficacité dans les processus d'attaque, ce qui en fait un choix privilégié pour la création de motifs fins sur les plaquettes de silicium. Ce produit sert également d'additif de protection contre la surcharge et de scavenger d'acide fluorhydrique, améliorant ainsi la sécurité et les performances des systèmes de batteries. Ses applications principales se trouvent dans le secteur de l'électronique et des semi-conducteurs, où sa non-inflammabilité et sa stabilité chimique sont très appréciées.