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Etch Gases
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Chlore (Cl₂, haute pureté)
CAS: 7782-50-5 Cl₂
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Voir les Détails Trichlorure de bore (BCl₃)
CAS: 10294-34-5 BCl₃
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Voir les Détails Hexafluorure de soufre (SF₆)
CAS: 2551-62-4 SF₆
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Voir les Détails Fluorure de trifluoronitrogène (NF₃)
CAS: 7783-54-2 NF3
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Voir les Détails Perfluorocyclobutane (c-C₄F₈)
CAS: 115-25-3 C4F8
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Voir les Détails Octafluorocyclobutane (C₄F₈)
CAS: 115-25-3 C₄F₈
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Voir les Détails Trifluorométhane (CHF₃, R23)
CAS: 75-46-7 CHF₃
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Voir les Détails Tétrafluorométhane (CF₄)
CAS: 75-71-8 CF4
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Voir les Détails Hexafluoroéthane (C₂F₆)
CAS: 76-16-4 C₂F₆
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Voir les Détails Perfluoropropane (C₃F₈)
CAS: 76-19-7 C₃F₈
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Voir les Détails Perfluorobutane (C₄F₁₀)
CAS: 355-25-9 C₄F₁₀
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Voir les Détails Iodotrifluorométhane (CF₃I)
CAS: 2314-97-8 CF₃I
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Voir les Détails Bromotrifluorométhane (Halon 1301)
CAS: 75-63-8 CF3Br
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Voir les Détails Bromochlorodifluorométhane (Halon 1211)
CAS: 353-59-3 CBrClF2
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