Trifluormethan (CHF₃, R23)
Gefährliches Produkt
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Übersicht
Trifluoromethane (CHF₃, R23) for precise oxide etching in semiconductor manufacturing.
CAS-Nummer
75-46-7
Molekularformel
CHF₃
Produktgrad
Electronic Grade
Gefahrenklasse
CLASS 2
Gases
Erscheinungsbild
gas
Lieferformen
Canister Bulk
Produktbeschreibung
Trifluormethan (CHF₃, R23) ist ein elektronikreiner Gas, der hauptsächlich als Ätzmittel in der Elektronik- und Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist besonders effektiv bei Oxidätzprozessen und trägt zur hohen Präzision bei der Chipfertigung bei. Dieses Gas wird aufgrund seiner Stabilität und Selektivität geschätzt und ist daher eine bevorzugte Wahl für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen.
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