三氟甲烷（CHF₃，R23）
危险产品
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概述
三氟甲烷（CHF₃，R23）用于半导体制造中的精确氧化物蚀刻。
CAS号
75-46-7
分子式
CHF₃
产品等级
Electronic Grade
危险等级
CLASS 2
Gases
外观
gas
包装形式
Canister Bulk
产品描述
三氟甲烷（CHF₃，R23）是一种电子级气体，主要用作电子和半导体工业中的蚀刻剂。它在氧化物蚀刻工艺中特别有效，有助于芯片制造中所需的高精度。这种气体因其稳定性和选择性而受到重视，成为先进半导体应用的首选。
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