Tetrafluormethan (CF₄)

Tetrafluormethan (CF₄) ist ein inertes, farbloses Gas, das hauptsächlich als Ätzmittel in der Elektronik- und Halbleiterindustrie verwendet wird. Es spielt eine entscheidende Rolle bei der präzisen Ätzung von Siliziumwafern und trägt zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen und mikroelektronischen Geräten bei. Neben seinen Ätzeigenschaften dient CF₄ auch als Dielektrikum und bietet ausgezeichnete elektrische Isolationseigenschaften. Seine Stabilität und nicht entzündbare Natur machen es für den Einsatz in kontrollierten Umgebungen geeignet, in denen Sicherheit und Leistung im Vordergrund stehen.