四氟化碳 (CF₄)

四氟化碳（CF₄）是一种惰性、无色气体，主要用作电子和半导体工业中的蚀刻剂。它在硅片的精确蚀刻中起着关键作用，有助于集成电路和微电子器件的生产。除了蚀刻能力外，CF₄还可用作电介质，具有优异的电气绝缘性能。其稳定性和不可燃性使其适用于对安全性和性能要求极高的受控环境。