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干法刻蚀气体（CF₄、C₄F₈、SF₆、NF₃） - CAS 75-71-8, 115-20-8, 2551-62-4, 7783-54-2 - Chemical Product

干法刻蚀气体（CF₄、C₄F₈、SF₆、NF₃）

CAS: 75-71-8, 115-20-8, 2551-62-4, 7783-54-2 CF₄, C₄F₈, SF₆, NF₃

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