Trimethylbor (TMB)

Trimethylboran (TMB) ist ein Gas, das als p-typischer Dotierstoff im Halbleiterbereich verwendet wird. Es wird hauptsächlich in Atomlagenabscheidungsverfahren (ALD) eingesetzt, um hochwertige dünnfilmige Schichten zu bilden. TMB wird geschätzt für seine Fähigkeit, eine präzise Kontrolle über die Schichtdicke und Zusammensetzung zu gewährleisten, was es für die Herstellung von nächsten Generation elektronischer Geräte unverzichtbar macht.