三甲基硼（TMB）

三甲基硼烷（TMB）是一种在半导体工业中用作p型掺杂剂的气体。它主要应用于原子层沉积（ALD）工艺，以形成高质量的薄膜。TMB因其能够精确控制薄膜厚度和成分而受到青睐，这对于下一代电子器件的制造至关重要。