Schwefelhexafluorid (SF₆)

Schwefelhexafluorid (SF₆) ist ein inertes, nicht brennbares und farbloses Gas, das in der Elektronik- und Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Es dient als Schlüsselkomponente bei dielektrischen Ätzprozessen aufgrund seiner hervorragenden elektrischen Isolierungseigenschaften und chemischen Stabilität. SF₆ wird zudem aufgrund seiner Fähigkeit, ein effektives Ätzmittel zu sein, eingesetzt, was zur Präzision und Qualität von Halbleiterbauelementen beiträgt. Zu seinen bemerkenswerten Eigenschaften gehören hohe Dichte, geringe Reaktivität und überlegene Dielektrizitätsfestigkeit, wodurch es in fortgeschrittenen elektronischen Anwendungen unverzichtbar ist.