六氟化硫 (SF₆)

六氟化硫（SF₆）是一种惰性、不可燃且无色的气体，在电子和半导体工业中被广泛使用。由于其优异的电气绝缘性能和化学稳定性，它在介电刻蚀工艺中作为关键成分。SF₆还因其能作为有效的刻蚀剂而被使用，有助于半导体器件的精度和质量。其显著特性包括高密度、低反应性和优越的介电强度，使其在先进的电子应用中不可或缺。