Bortrichlorid (BCl₃)

Borontrichlorid (BCl₃) ist ein farbloses Gas, das hauptsächlich als Ätzmittel in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist entscheidend für die Erstellung feiner Muster auf Siliziumwafern und trägt zur Produktion von Mikrochips und anderen elektronischen Komponenten bei. Dieses Verbindung wird geschätzt für ihre Fähigkeit, Materialien selektiv zu entfernen, ohne den darunterliegenden Substrat zu beschädigen, wodurch es ein kritischer Stoff in der Herstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte wird.