三氯化硼 (BCl₃)

三氯化硼（BCl₃）是一种无色气体，主要用作半导体工业中的蚀刻剂。它在硅片上制作精细图案中起着关键作用，有助于微芯片和其他电子元件的生产。该化合物因其能够选择性地去除材料而不损坏底层基板而受到青睐，使其成为制造先进电子设备的关键材料。