五氯化钽 (TaCl₅)
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概述
五氯化钽（TaCl₅）用于高性能电子应用。
CAS号
7721/2/6
分子式
TaCl₅
产品等级
Electronic Grade
危险等级
CLASS 8
Corrosive Substances
外观
solid
包装形式
Canister Drum
产品描述
五氯化钽（TaCl₅）是一种在电子和半导体行业中使用的关键化学品。它作为化学气相沉积（CVD）工艺中的重要前驱体，有助于形成高质量的介电层。该化合物因其能够生成具有优异均匀性和纯度的薄膜而受到重视，使其在先进电容器和其他电子元件的制造中不可或缺。
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