Тетрафторметан (CF₄)

Тетрафторометан (CF₄) — инертный, бесцветный газ, в основном используемый в качестве травителя в электронной и полупроводниковой промышленности. Он играет ключевую роль в точном травлении кремниевых пластин, способствуя производству интегральных схем и микроэлектронных устройств. Помимо своих свойств травления, CF₄ также служит диэлектрическим агентом, обеспечивая отличные электроизоляционные свойства. Его стабильность и негорючесть делают его подходящим для использования в контролируемых средах, где безопасность и производительность имеют первостепенное значение.