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CVD Precursors
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TEOS (Tétraéthyl orthosilicate)
CAS: 1978/10/4 C8H20O4Si
Produits Chimiques pour l'Électronique et les Semi-conducteurs CVD Precursors
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Voir les Détails Tétrachlorure de titane (TiCl₄)
CAS: 7719/12/2 TiCl₄
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Voir les Détails Pentachlorure de tantale (TaCl₅)
CAS: 7721/2/6 TaCl₅
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Voir les Détails Isopropoxyde de titane (TTIP)
CAS: 546-68-9 C12H28O4Ti
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Voir les Détails Éthoxyde de tantale
CAS: 7360-38-5 Ta(OC2H5)5
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