Disilan (Si₂H₆)

Disilane (Si₂H₆) ist ein farbloses Gas, das in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es dient als wesentlicher Bestandteil bei epitaktischen Wachstumsprozessen und trägt zur Bildung von Silizium-Germanium-(SiGe)-Schichten bei. Disilane wird aufgrund seiner hohen Reaktivität und Reinheit geschätzt und eignet sich für anspruchsvolle Anwendungen, bei denen eine präzise Kontrolle über die Materialeigenschaften erforderlich ist.