超纯水（UPW）

超纯水（UPW）是一种高度净化的水形式，用于电子和半导体行业。在制造过程中，它对于冲洗晶圆以去除污染物并确保高质量芯片生产至关重要。UPW的关键特性包括杂质含量极低，使其适用于关键清洁应用，即使微量污染物也会影响产品性能。