磷化氢（PH₃）

磷化氢（PH₃）是一种重要的气体，主要用作电子和半导体工业中的掺杂剂。它对于制造N型半导体至关重要，可提高其电导率。磷化氢还用于特定工艺中的蚀刻剂。其高纯度和可控的输送使其在先进的半导体制造中不可或缺。